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全球首創(chuàng)！九峰山實驗室氮化鎵材料制備領(lǐng)域新突破：鍵合界面良率超99%

文章來源：新能源網(wǎng) 更新時間：2025-03-24 16:05:36

快科技3月24日消息，據(jù)報道，九峰山實驗室科研團隊近日取得重大突破，成功在全球范圍內(nèi)首次實現(xiàn)了8英寸硅基氮極性氮化鎵（N-polar GaNOI）高電子遷移率材料的制備。

這一里程碑式的成果不僅打破了國際技術(shù)壟斷，更為射頻前端等系統(tǒng)級芯片在頻率、效率、集成度等方面的提升提供了強有力的技術(shù)支持，將推動下一代通信、自動駕駛、雷達探測、微波能量傳輸?shù)惹把丶夹g(shù)的快速發(fā)展。

氮化鎵晶體結(jié)構(gòu)的極性方向?qū)ζ骷阅芎蛻镁哂袥Q定性影響，主要分為氮極性氮化鎵和鎵極性氮化鎵兩種極化類型。

研究表明，在高頻、高功率器件領(lǐng)域，氮極性氮化鎵相較于傳統(tǒng)的鎵極性氮化鎵展現(xiàn)出顯著的技術(shù)優(yōu)勢。然而，由于材料生長條件嚴苛、工藝復雜等瓶頸，目前全球僅有少數(shù)機構(gòu)能夠小批量生產(chǎn)2-4英寸氮極性氮化鎵高電子遷移率襯底材料，且成本高昂，限制了其大規(guī)模應用。

九峰山實驗室的突破性成果主要體現(xiàn)在以下幾個方面：首先，通過采用硅基襯底，該技術(shù)兼容8英寸主流半導體產(chǎn)線設(shè)備，并深度集成硅基CMOS工藝，顯著降低了生產(chǎn)成本，同時為大規(guī)模量產(chǎn)提供了便利條件；其次，材料性能得到顯著提升，兼具高電子遷移率和優(yōu)異的可靠性；最后，鍵合界面良率超過99%，為大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化奠定了堅實基礎(chǔ)。

氮極性氮化鎵材料在高頻段（如毫米波頻段）表現(xiàn)出色，特別適用于5G/6G通信、衛(wèi)星通信、雷達系統(tǒng)等高頻操作領(lǐng)域。隨著這一技術(shù)的成熟和推廣，未來有望在多個高科技領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)廣泛應用，推動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的升級與革新。

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